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斥引力

薄型基板外表柔软易变形,即使外力相当小,也可能会对它的外形产生明显的影响。

与此同时,许多加工过程,例如:涂层,对加工过程中工件表面平整度的要求相当高。

在这种情况,超声波的排斥作用和负压的引力相结合,使工件整体表面均衡受力。

优点
  • 无需空气供给和处理
  • 在环境气体中不会产生动态湍流
  • 对净室内的气流不会产生负面影响
  • 低破损率
  • 低耗能
  • 模块式概念

 

应用范围
  • 半导体晶圆及组件
  • 太阳能晶圆片和电池模块
  • TFTs / FPD
  • 不同大小的平板玻璃(带涂层的)
  • MEMS 与 MOEMS
  • 生物芯片
  • 表面进行过高质量加工的物体
  • 涂层或涂漆板
  • 易刮伤的组件
  • 印刷纸张,铝箔及包装材料