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操作技术
Kleinteile

完全无接触的小部件处理

如果工件的外部轮廓类似于发声器轮廓,那么它会产生自定心的力量。即便工件很小(< 20 毫米),这种自定心的力量可以与数倍的工件重力抗衡。因此,横向加速度可被卸除或者工件将被旋转。

该超声波轴承技术可用于操作各种表面坚硬且可被重复加工的平面工件。众多行业应用受益于此技术。而谨慎且温和的工件处理技术在净室中是必须的。

优点
  • 无需空气供给和处理
  • 在环境气体中不会产生动态湍流
  • 对净室内的气流不会产生负面影响
  • 低破损率
  • 低耗能
  • 模块式概念

 

应用范围
  • 半导体晶圆及组件
  • 太阳能晶圆片和电池模块
  • TFTs / FPD
  • 不同大小的平板玻璃(带涂层的)
  • MEMS 与 MOEMS
  • 生物芯片
  • 表面进行过高质量加工的物体
  • 涂层或涂漆板
  • 易刮伤的组件
  • 印刷纸张,铝箔及包装材料