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操作技术
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压膜磁悬浮

超声波轴承的物理学更符合流体机械物理。被操作物件和声波产生器振动表面间隙间的压力通过气膜的循环增缩或减压增加。因此,需要建立一个均匀的振动模式,使处理力度得以均匀分布。这正是ZS-Handling 的核心竞争力之一:我们装饰声音!

 

斥力

压膜磁悬浮技术的运用使声源力量在操作物件时的应用成为可能。在气膜的支撑下,工件可以无摩擦地运动。这个支撑力的特性类似于传统的空气轴承,但无需复杂昂贵的气压供应。

超声波轴承利用工件接口处的环境气体(生产气体)在空隙间产生强压。

优点
  • 无需空气供给和处理
  • 在环境气体中不会产生动态湍流
  • 对净室内的气流不会产生负面影响
  • 低破损率
  • 低耗能
  • 模块式概念

 

应用范围
  • 半导体晶圆及组件
  • 太阳能晶圆片和电池模块
  • TFTs / FPD
  • 不同大小的平板玻璃(带涂层的)
  • MEMS 与 MOEMS
  • 生物芯片
  • 表面进行过高质量加工的物体
  • 涂层或涂漆板
  • 易刮伤的组件
  • 印刷纸张,铝箔及包装材料