테크놀로지
ULL ULL Kraft

스퀴즈필름 부양

초음파 공기 베어링의 물리학적 설명은 음향적 특성보다는 유체역학에 더욱 부합됩니다. 처리되고 있는 자재와 음파 발생장치의 진동사이에 생겨나는 압력은 얇은 가스 필름의 주기적인 압축과 감압에 따라 강해집니다.때문에 진동하는 표면 전체에 동등한 부양력을 생성하기 위해서는 균일한 진동 패턴을 만들어내야 합니다. 이것이 본사의 핵심 역량입니다. 이를 영어식으로 “we trim the sound!”라고 말할 수 있겠습니다.

 

척력

스퀴즈 필름 부양을 사용함으로써 음원을 통해 부품을 처리할수 있게 되였습니다. 부품은 공기 필름의 지지력에 의해 무접촉 상태로 운행할수 있습니다. 이런 지지력은 보통 공기 베어링의 특성과 유사하지만 더 많은 압축 공기 공급이 필요하지 않습니다.

초음파 공기 베어링 기술은 부품 인터페이스 주위의 공기 (혹은 기체를 생성) 를 이용하여 강한 압력을 생성합니다.

귀하의 장점
  • 급기와 공기조화가 필요하지 않습니다
  • 주변 공기에서 역학적 난류가 발생하지 않습니다
  • 클린룸의 공기순환에 부정적인 영향이 없습니다
  • 파손율이 낮습니다
  • 에너지 소비가 적습니다
  • 모듈식 컨셉트

 

응용범위들
  • 반도체 웨이퍼와 구성요소들
  • 태양광 웨이퍼와 모듈
  • TFT/FPD
  • 모든 크기의 (코팅된) 판유리
  • 미세전자기계시스템(MEMS)과 MEMS와 광을 결합한 MOEMS
  • 바이오칩
  • 상급의 가공된 표면
  • 코팅되었거나 래커처리된 블랭크
  • 긁힘에 예민한 요소들

 

  Imprint |   Sitemap