테크놀로지
Kleinteile

완전 무접촉 상태하에서의 작은 부품 처리

부품의 모양이 그리퍼의 모양과 비슷해지면, 자동조심력( a self-centering force)이 생겨납니다. 부품이 아주 작더라도(20mm 이하) 자동조심력은 자체 무게의 몇 배에 해당하는 힘에 달할수  있으며, 이 결과 높은 횡방향 가속도가 생겨나면서 부품들이 함께 회전할 수 있게 됩니다.

 

초음파 공기 베어링 기술은 탄탄하고 여러번 가공할수 있는 각종  부품 표면의 처리 과정에 사용될수 있습니다.이런 기술은 수많은 산업과 응용분야에 응용되고 있습니다. 세밀하고 유연한 부품처리기술은 클린룸에서는 필요할 처리기술입니다.

귀하의 장점
  • 급기와 공기조화가 필요하지 않습니다
  • 주변 공기에서 역학적 난류가 발생하지 않습니다
  • 클린룸의 공기순환에 부정적인 영향이 없습니다
  • 파손율이 낮습니다
  • 에너지 소비가 적습니다
  • 모듈식 컨셉트

 

응용범위들
  • 반도체 웨이퍼와 구성요소들
  • 태양광 웨이퍼와 모듈
  • TFT/FPD
  • 모든 크기의 (코팅된) 판유리
  • 미세전자기계시스템(MEMS)과 MEMS와 광을 결합한 MOEMS
  • 바이오칩
  • 상급의 가공된 표면
  • 코팅되었거나 래커처리된 블랭크
  • 긁힘에 예민한 요소들

 

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