테크놀로지
ULL spannend ULL spannend Kraft

인력과 척력

얇은 기판들은 미세한 힘의 작용하에서도 아주 쉽게 변형되곤 합니다.

한편 많은 공정(예를 들어 코팅) 처리 과정에서 부품표면처리는 고도의 평탄도를 요구하고있습니다.

이런 요구에 맞추기 위해 본사는 초음파의 척력과 저압력의 인력을 이용하여 처리과정에서 부품 표면에 닫는 힘을 균일하게 배분할수 있습니다.

이런 기술은 부품 표면이 기계와 접촉하지  않은 상황에서도 뛰여난 평탄도를 갖출수 있게 하였습니다.

동시에 부품의 기하학적형태과 설정된 위치도 유지할수 있게 합니다.

귀하의 장점
  • 급기와 공기조화가 필요하지 않습니다
  • 주변 공기에서 역학적 난류가 발생하지 않습니다
  • 클린룸의 공기순환에 부정적인 영향이 없습니다
  • 파손율이 낮습니다
  • 에너지 소비가 적습니다
  • 모듈식 컨셉트

 

응용범위들
  • 반도체 웨이퍼와 구성요소들
  • 태양광 웨이퍼와 모듈
  • TFT/FPD
  • 모든 크기의 (코팅된) 판유리
  • 미세전자기계시스템(MEMS)과 MEMS와 광을 결합한 MOEMS
  • 바이오칩
  • 상급의 가공된 표면
  • 코팅되었거나 래커처리된 블랭크
  • 긁힘에 예민한 요소들

 

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