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Photovoltaik Wafer-Handling
Be- und Entladungssystem Be- und Entladungssystem

Wir haben unser Portfolio für das Solarwaferhandling um ein Be- und Entladungssystem erweitert.


Eckdaten:

  • Kontinuierliche Anlagenbestückung ohne Zeitverlust durch einen Kassettenwechsel.
  • Kein Stop der Prozessanlagen verursacht durch einen Kassettenwechsel des Zuführsystems.
  • Durchsatz von 4000 Wafern/h bei kleinem Anlagen Footprint gegenüber herkommlichen Be- und Entladesystemen.
  • Berührungloser Ultraschalltransport zur Prozessanlage - Reduzierung der Bruchraten.
  • Entladung aus allen gängigen Kassettentypen aus der Solarbranche auf einer Anlage.
  • Gleichzeitige Entnahme von bis zu 25 Wafer während eines Greifprozesses.
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