Berührungslose Handhabungssysteme

Flachbildschirme durchdringen mehr und mehr den Alltag, entsprechend steigt die Bandbreite an Displaytypen und das gefertigte Volumen. Mit der einzigartigen, berührungslosen Ultraschalllagertechnologie erschließt die Zimmermann & Schilp Handhabungstechnik GmbH (ZSH) eine völlig neue Dimension der Substrathandhabung in der Flachbildschirmproduktion.

 

Vielversprechender Ansatz: Das Ultraschalllager

Großflächenfördersysteme

Die berührungslosen Großflächenfördersysteme ermöglichen den schonenden und reibfreien Transport von Substraten. Die Systeme sind als Module konzipiert, welche zu Arrays beliebiger Länge und Breite montiert werden können.

 

Integrierte Qualitätskontrolle

In modernen Fertigunglinien wird die Qualität häufig durch schnelle optische Messtechnik sichergestellt. Die Substrate können auf den Fördersystemen entweder durch einen Spalt zwischen den Sonotroden (Ultraschalllagern) oder Glassonotroden geprüft werden. Mit unseren berührungslosen Handhabungsgeräten aus Glas bieten wir die ideale Lösung für die beidseitige Inspektion.

 

Geteilte Ausführung des Transfersystems

mit einem Spalt bis zu 20 mm. Über diesen können die Substrate problemlos hinweggleiten, während die Inspektion (z. B. mit optischen Sensoren, Zeilenkameras) durch den Spalt erfolgen kann.

 

Einsatz von Glas als Material für das Transfersystem

schafft einen störkantenfreien Zugang für die optische Vermessung. Das Substrat kann durch das Glas hindurch inspiziert werden.

Glasgreifer für das Oberseitengreifen (Top-Side Handling)

Für das Oberseitengreifen wird das Ultraschalllager (abstoßend) mit Unterdruck (anziehend) kombiniert. Die Technologie ermöglicht die einfache Handhabung von Bauteilen, vergleichbar dem konventionellen Greifen an der Oberseite. Darüber hinaus können formlabile Bauteile ohne Kontakt zum Werkzeug in ihrer Form stabilisiert werden. Die Substrate werden durch einstellbare Side-Stops ohne Kraftschluss zentriert.