Für die Handhabung von Halbleiterwafern in atmosphärischer Umgebung bietet das Ultraschalllager eine Reihe von wichtigen Vorteilen.

 

Neben der Berührungslosigkeit steht dabei die Stabilisierung der Geometrie dünner Substrate im Vordergrund (Dünnwafer-Handling). Auch die Handhabung an der Oberseite ist für unsere Systeme kein Problem.

 

Außerdem bietet das Ultraschalllager einmalig niedrigen Energieverbrauch, ein weiterer Schritt hin zur Green Fab.

 

Darüber hinaus bieten wir Ihnen schon heute einsetzbare Lösungen für das Handling von 450 mm (18") Wafern, unabhängig von deren Dicke.