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Case Studies
PV_Inspektion

Aufgabe

Prüfen von Substraten (Wafern, Gläser) auf Materialfehler, Ausbrüche, Risse oder Verunreinigungen während des Handhabungsvorgangs..

 

Trend in der Industrie

Substrate werden zunehmend dünner und benötigen somit ein immer sichereres und sanfteres Handling. Wobei die Anlagendurchsätze immer weiter ansteigen.

 

Unsere Lösung: Einsatz von Glassonotroden als Transportsystem

Das Substrat kann durch die Glassonotrode hindurch inspiziert werden. Somit kann auch das Durchlichtverfahren (Backlight) für die Substratinspektion problemlos angewendet werden. Es gibt keine Störkanten die z.B bei Band- oder Riementransportsystemen gegeben sind.

 

Vorteile durch Einsatz des Ultraschalllagers 

  • Sanfte und berührungslose Handhabung.
  • Schnelle Inspektion bis zu 3600 Sustraten pro Stunde.
  • Sowohl Durchlicht- als auch Auflichtbeleuchtung kann zur Substratinspektion eingesetzt werden.
  • Schnelle Integrierbarkeit neuer oder zusätzlicher Inspektionsmodule.

 

Ihre Vorteile
  • Keine Luftversorgung und -aufbereitung
  • Keine dynamischen Turbulenzen im Umgebungsgas
  • Kein negativer Einfluß auf den Luftstrom im Reinraum
  • Niedrigste Bruchraten
  • Geringer Energieverbrauch
  • Modulares Konzept
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