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Photovoltaik Wafer-Handling
Sorter  

Photovoltaik Wafer-Sorter-Modul

Unsere Wafer-Handhabungssysteme nutzen die Ultraschalllager-Technologie und können in jeder atmosphärischen Anwendung eingesetzt werden. Das Ultraschalllager erzeugt einen tragenden Gasfilm (Luft oder Prozessgas) zwischen seiner Oberfläche und dem Substrat. Damit wird mechanischer Kontakt vermieden. Das Substrat schwebt auf einem Gasfilm.

 

Platzieren und Sortieren von Solarwafern und Solarzellen

Aufgrund des Gleichgewichts der Kräfte zwischen Unterdruck, Ultraschall und Gravitation können die Wafer von der Oberseite gegriffen und vom Band transferiert werden.

Befindet sich der Wafer über seinem Zielpunkt wird der Unterdruck abgeschaltet. Die abstoßende Ultraschallkraft

lässt den Wafer in das Magazin gleiten oder seine Zielposition erreichen.

Der Wafer wird sanft fallengelassen. Die Substrate können in viele verschiedene Arten von Kontainersystemen wie Kassetten oder Carrier einsortiert werden.

 
Technische Daten
Luftverbrauch 40 l/min, 40 mbar per drop-off-segment
Elektrische Ausrüstung max. 50 W, 230 V (ultrasound)
20 W, 24 V (drives)
Abstand (System-Werkstück) ~100 μm
Ladekapazität bis zu 3000 Wafer/Kassette (Kundenspezifisch)
Durchlaufzeit 2 wafers/s (0,5 s/wafer)
Schnittstellen PROFIBUS, PROFINET, EtherCAT, OPC
 
Produktvorteile
  • Niedrigste Bruchrate (<70 ppm)
  • Handhabung dünner Wafer bis zu 100 μm
  • Höherer Ausstoß / kurze Durchlaufzeiten
  • Niedriger Energieverbrauch
Applikationen
  • Wafer-/Zellsortierung
  • Wafer-/Zellablage
Highlights
  • 2 Wafer/s (0,5 s/Wafer)
  • Kein mechanischer Kontakt zwischen Gerät und Substrat
Kombinierbare Produkte
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