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Technologie
ULL spannend ULL spannend Kraft

Abstoßende und anziehende Kräfte

Dünne Substrate zeigen häufig formflexibles Verhalten, d. h. sie verformen sich unter Einwirkung bereits kleiner Kräfte erheblich.

Gleichzeitig stellen viele Prozesse, z. B. die Beschichtung, sehr hohe Anforderungen an die Ebenheit der Werkstücke während der Bearbeitung. In diesen Fällen wird die abstoßende Wirkung des Ultraschalls mit anziehenden Unterdruckkräften kombiniert, um die Handhabungskräfte noch gleichmäßiger über die gesamte Werkstückfläche zu verteilen.

Diese Technologie ermöglicht die einfache Glättung von Werkstücken ohne mechanischen Kontakt zu ihrer Oberfläche. Die Bauteile werden in ihrer Geometrie stabilisiert und in Position gehalten.

Ihre Vorteile
  • Keine Luftversorgung und -aufbereitung
  • Keine dynamischen Turbulenzen im Umgebungsgas
  • Kein negativer Einfluß auf den Luftstrom im Reinraum
  • Niedrigste Bruchraten
  • Geringer Energieverbrauch
  • Modulares Konzept
Applikationen
  • Halbleiterwafer und -komponenten
  • Photovoltaikwafer und Module
  • TFTs / FPDs
  • Flachgläser aller Größen (beschichtet)
  • MEMS and MOEMS
  • BioChips
  • Bearbeitete Oberflächen hoher Güte
  • Beschichtete oder lackierte Bleche
  • Kratzempfindliche Komponenten
  • Bedruckte Bögen, Papiere und Folien

 

 

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