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Photovoltaik Wafer-Handling
PV-Linearbahn  

Photovoltaik Wafer-Linear-Modul

Unsere Transfersysteme nutzen die Ultraschalllager-Technologie und können in jeder atmosphärischen Anwendung (kein Vakuum) eingesetzt werden. Das Ultraschalllager erzeugt einen tragenden Gasfilm (Luft oder Prozessgas) zwischen Linearbahn und Substrat. Damit wird mechanischer Kontakt vermieden. Das Substrat schwebt auf einem Gasfilm.

 

Linearbahnen in der Solarzellenproduktion

Das Substrat schwebt in einer einstellbaren Höhe von 200 - 500 μm. In Sonderkonfigurationen sind 5 mm oder mehr möglich. Die berührungslose Linearbahn ermöglichen den sanften und reibfreien Transport von Substraten.

Die Strecke wird um 5-10° gegen die Querachse geneigt. An der tieferen Seite ist ein Riemen positioniert. Damit erfahren die Substrate nur an einer Kante Linienberührung, wodurch die einwirkenden Kräfte sehr klein gehalten werden.

 

Beidseitige Substratinspektion

Substrate können auf zwei unterschiedliche Arten beidseitig inspiziert werden:

Sektionierung des Transfersystems

mit Spalten bis 20 mm. Diese Entfernung kann von den Scheiben leicht überwunden werden, während die Inspektion durch den Spalt erfolgt.

(z.B. durch optische Sensoren, Linienkameras)

Verwenden von Glas für das Transfersystem

Das Substrat kann optisch durch das Glas untersucht werden.

 
Technische Daten
Elektrische Ausstattung max.50 W, 230 V (ultrasound)
20 W, 24 V (drives)
Abstand (System-Werkstück) 200 - 500 μm (Spezialkonfiguration ~5 mm)
Durchlaufzeit 1 wafer/s (1 s/wafer)
Schnittstellen PROFIBUS, PROFINET, EtherCAT, OPC
Bahnbreite 6,38
Bahnlänge 6,38 - 39,69
Verfügbare Oberflächenmaterialien Eloxiertes Aluminium, teflonbeschichtet
 
Produktvorteile
  • Niedrigste Bruchrate (<70 ppm)
  • Niedriger Energieverbrauch
  • Modulares Design
Applikationen
  • Linearer Transport von Substraten
  • Substratinspektion (z.B. Linienkameras)
Highlights
  • 1 wafer/s (1 s/wafer)
  • Kein mechanischer Kontakt zwischen Gerät und Substrat
  • Beidseitige Substratinspektion
Kombinierbare Produkte
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