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Squeezefilmlevitation

Die Physik des Ultraschalllagers entspricht mehr einer fluidmechanischen denn einer akustischen Beschreibung. Der Druck im Spalt zwischen dem Handhabungsgut und der schwingenden Oberfläche des Schallerzeugers steigt durch die zyklische Kompression und Dekompression des Gasfilms.

Daher ist die Erzeugung eines gleichmäßigen Schwingungsmusters erforderlich, um eine gleichmäßige Verteilung der Handhabungskräfte zu erreichen. Darin liegt eine der Kernkompetenzen der ZS-Handling GmbH: we trim the sound!


Abstoßende Kraft

Der Einsatz der Squeezefilmlevitation ermöglicht die Applikation erheblicher Kräfte von der Schallquelle auf das Handhabungsgut. Auf dem tragenden Luftfilm kann ein Werkstück reibfrei bewegt werden. Das Tragkraftprofil ist dabei dem eines konventionellen Luftlagers ähnlich - jedoch ohne aufwändige und teuere Druckluftversorgung.

Das Ultraschalllager nutzt das umgebende Gas (Luft oder Prozessgas) an der Schnittstelle zum Werkstück für die Erzeugung des Überdrucks im Spalt.

Ihre Vorteile
  • Keine Luftversorgung und -aufbereitung
  • Keine dynamischen Turbulenzen im Umgebungsgas
  • Kein negativer Einfluß auf den Luftstrom im Reinraum
  • Niedrigste Bruchraten
  • Geringer Energieverbrauch
  • Modulares Konzept
Applikationen
  • Halbleiterwafer und -komponenten
  • Photovoltaikwafer und Module
  • TFTs / FPDs
  • Flachgläser aller Größen (beschichtet)
  • MEMS and MOEMS
  • BioChips
  • Bearbeitete Oberflächen hoher Güte
  • Beschichtete oder lackierte Bleche
  • Kratzempfindliche Komponenten
  • Bedruckte Bögen, Papiere und Folien

 

 

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