首页
  联系我们
  下载
  FAQ
  Newsletter
Twitter Facebook YouTube ZS-Handling
玻璃操作



Glass_Conveyor  

玻璃输送组件

我们的操作系统使用超声波轴承,并且可以应用在任何大气过程。超声波轴承基因率表面和基片之间的支撑膜的气体(空气或或处理气体)因此,避免任何机械接触。基板悬停在气体膜所支持50-500微米之间的高度



模块化设计

非接触型传送装置有利于基板的平滑且无摩擦运输。该系统设计成可以组装到任何长度和宽度的阵列模块。



基板双面检查

我们提供了两种方法来进行基板的双面检查:

  • 传输系统的交汇点


只需要20毫米的间隙,这距离可以很容易地通过基进行划线,而检查通过该间隙进行(例如,通过光学传感器,线性摄像机)。

  • 使用玻璃作为传输系统


基板可以通过在玻璃光学装置进行检查。







 
技术数据
Electrical Equipment max. 300 W, 230 V (ultrasound)
Distance (tool-substrate) 100 µm
Interfaces available PROFIBUS, PROFINET, EtherCAT, OPC
 
产品优势
  • The ultrasound air bearing technology offers a series of benefits compared to state-of-the-art solutions:
  • No surface contact and therefore no damages due to non-contact handling
  • More degrees of freedom in process and machine design
  • High planarity of the substrate during transfer process
应用领域
  • Conveying
  • Inspection
  • Coating
重要信息
  • No mechanical contact between handling-device and substrate
  • Handling at processed / coated surfaces
可结合使用的产品