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玻璃操作
GGT_300  

玻璃抓取器G1-G11

我们的操作系统使用超声波轴承,并且可以应用在任何大气过程。超声波轴承基因率表面和基片之间的支撑膜的气体(空气或或处理气体)因此,避免任何机械接触。基板悬停在上盘旋或下方支承气体膜。



从顶部处理

许多处理过程需要同时使用吸引力和排斥力,如对顶部处理 。在这些情况下,排斥超声力结合使用吸引低压力 这项技术使部件易于使用非接触式处理部件,类似于的顶抓部分。 此外,形状不稳定组件可以平滑稳定在其几何形状和固定就位,操作工具没有任何接触。基板可调整侧固定就位

 

 

 

 
技术数据
Air Consumption 40 - 80 l/min
Low Pressure 120 l/min, 40 mbar
Electrical Equipment max. 100 W, 230 V AC (ultrasound)
Distance (tool-substrate) 50 - 100 μm
Interfaces available PROFIBUS, PROFINET, EtherCAT, OPC
Substrate sizes G1 (300 mm x 400 mm) to G11 (3300 mm x 3100 mm)
 
产品优势
  • Our handling systems using the ultrasound air bearing technology can be applied in any atmospheric process. The ultrasound air bearing generates a supporting gas-film (air or process-gas) between its surface and the substrate. Thus, any mechanical contact
  • No surface contact
  • No damages
  • More degrees of freedom in process and machine design
应用领域
  • Loading and unloading of boats (glass-substrates)
  • Loading and unloading of cleaned substrates
  • Handling and aligning without any surface damages
重要信息
  • No mechanical contact between handling-device and substrate
  • Handling at processed / coated surfaces
可结合使用的产品