技術分野
ULL spannend ULL spannend Kraft

反発力と牽引力

薄い基質は、柔軟性を有することが多く、即ち、少しでも力をかけると変形します。

同時に、例えば、コーティングをはじめとする様々なプロセスでは、加工中、部品の高い平滑さが要求されます。

このようなケースでは、ハンドリング力をより均一に部品の表面全体に分散してかけるために、超音波の反発力を、負圧の吸引力と組み合わせて用います。

この技術は、表面との機械的な接触をすることなく、部品を簡単に平滑にすることを可能にしてくれます。

この際、部品は、寸法的に安定され、位置も維持されます。

 

お客様の利点

  • エア供給やエア調整設備が不要
  • 周囲のガスに力学的乱流が生じない
  • クリーンルーム内のガス流に悪影響なし
  • 類を見ない低い破損率
  • 低燃費
  • モジュール・コンセプト

用途

  • 半導体ウエハーと半導体コンポーネント
  • 太陽電池ウエハーとモジュール
  • TFT / FPD関連
  • 平面ガラス・全サイズ(被コーティング)
  • MEMSとMOEMS
  • バイオチップ類
  • 高精度加工された表面
  • コーティングまたは塗装されたプレート
  • 傷のつきやすいコンポーネント(構成部品)
  • 印刷されたシートや紙、フィルム、包装用マテリアル

  Imprint |   Sitemap