技術分野
Kleinteile

完全に非接触

部品の輪郭と発振器の輪郭が一致すると、中央に引き寄せられる力が作用します。この力は、小さな部品(< 20mm)では、重力の数倍にも達します。これにより横方向加速度を減衰したり、或いは、部品を回転させたりします。

超音波エアベアリングの技術は、再現性があり音波により破壊されない平面的な表面を有する部品のハンドリングに採用することが出来ます。数多くの工業やアプリケーションがこの技術から利を得ています。マイルドなハンドリングは、クリーンルームだけで必要とされているわけではありません。

 

お客様の利点

  • エア供給やエア調整設備が不要
  • 周囲のガスに力学的乱流が生じない
  • クリーンルーム内のガス流に悪影響なし
  • 類を見ない低い破損率
  • 低燃費
  • モジュール・コンセプト

用途

  • 半導体ウエハーと半導体コンポーネント
  • 太陽電池ウエハーとモジュール
  • TFT / FPD関連
  • 平面ガラス・全サイズ(被コーティング)
  • MEMSとMOEMS
  • バイオチップ類
  • 高精度加工された表面
  • コーティングまたは塗装されたプレート
  • 傷のつきやすいコンポーネント(構成部品)
  • 印刷されたシートや紙、フィルム、包装用マテリアル

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