技術分野
ULL ULL Kraft

スクイーズ膜浮遊

超音波エアベアリング物理的原理は、音響的加速と言うよりはむしろ流体力学に基づいています。ハンドリングされる物体と発振器の振動する表面との間の圧力は、ガスフィルムの周期的な圧縮と緩和により上昇します。

よって、ハンドリング力の均一な分散を達成するには、均一な振動パターンを発生させることが必要になります。これぞ、弊社「Zimmermann & Schilp Handhabungstechnik GmbH」のコア・スキルなのです:we trim the sound!

 

反発力

スクイーズ膜浮遊を用いると音源のパワーの大半をハンドリングされる物体にかけることが可能になります。そして、この支持してくれるエアフィルム上で、加工される部品を抵抗無しに動かすことが出来ます。この際、支持する力の分布は、従来の - 煩雑で高価な圧搾空気を必用とする - エアベアリングに似通っています。

超音波エアベアリングでは、加工される部品との間の環境ガス(空気、又は、プロセスガス)を、その隙間に正圧を発生させるために用います。

 

お客様の利点

  • エア供給やエア調整設備が不要
  • 周囲のガスに力学的乱流が生じない
  • クリーンルーム内のガス流に悪影響なし
  • 類を見ない低い破損率
  • 低燃費
  • モジュール・コンセプト

用途

  • 半導体ウエハーと半導体コンポーネント
  • 太陽電池ウエハーとモジュール
  • TFT / FPD関連
  • 平面ガラス・全サイズ(被コーティング)
  • MEMSとMOEMS
  • バイオチップ類
  • 高精度加工された表面
  • コーティングまたは塗装されたプレート
  • 傷のつきやすいコンポーネント(構成部品)
  • 印刷されたシートや紙、フィルム、包装用マテリアル

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