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太阳能电池晶片操作
PV-Linearbahn  

太阳能晶片直线模块

我们的晶片处理系统使用超声波轴承,并且可以应用在任何大气过程。超声波轴承基因率表面和基板之间的支撑膜的气体(空气或或处理气体)因此,避免任何机械接触。基片悬停在上盘旋或下方支承气体膜。



太阳能电池生产应用直线轨道

 

基板悬停在可调整高度200-500微米之间。某些配置多达5毫米或更多非接触型直线轨道让基平滑且无摩擦运输。

该轨道由针对横向轴线5-10°倾斜。侧向进料器(输送带)位于下侧 。这样使得基板只接触到输送带一面的边缘,而在边缘上的力量是非常小。


基板双面检查:

有两种方法来进行基板的双面检查:


  • 传输系统的交汇点


只需要20毫米的间隙,这距离可以很容易地通过基片进行划线,而检查通过该间隙进行(例如,通过光学传感器,线性摄像机)。


  • 使用玻璃作为传输系统


基板可以通过在玻璃光学装置进行检查

 
技术数据
Electrical Equipment max.50 W, 230 V (ultrasound)
20 W, 24 V (drives)
Distance (tool-substrate) 200 - 500 μm (Spezialkonfiguration ~5 mm)
Cycle Time 1 wafer/s (1 s/wafer)
Interfaces available PROFIBUS, PROFINET, EtherCAT, OPC
Track Width 6,38
Track Length 6,38 - 39,69
Surface materials available anodized aluminium, teflon coating
 
产品优势
  • Lowest breakage rate (<70 ppm)
  • Low energy consumption
  • Modular design
应用领域
  • Linear transport of substrates
  • Substrate Inspection (e.g. line cameras)
重要信息
  • 1 wafer/s (1 s/wafer)
  • Non mechanical contact between the tool and the substrate
  • Double-Sided Inspection
可结合使用的产品