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Photovoltaikauf Basis von kristallinem Silizium (cSi) oder Dünnschichtmodulen >>> |
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FPD und GläserG1 bis G10 Substrate, Gläser bis 6 mm Dicke >>> |
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HalbleiterStandardwafer bis zu 450 mm, Dünnwafer bis 40 µm Dicke >>> |
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Sonderlösungenz. B. Verpackungstechnik, Elektronik-Bestückung >>> |
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Ultrasauber: keine Kontamination
Ultraschnell: höherer Durchsatz
Ultrasanft: Senkung der Bruchraten – Höhere Ausbeute
Vollständig neues Prozess-Design: Vereinfachung der Prozessketten
Hohe Einsparungspotentiale: Total-Costs-of-Ownership, Energie.